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氣氛型高溫探針臺 半導(dǎo)體行業(yè)晶圓測試 快速實(shí)現(xiàn)室溫-200℃環(huán)境的控溫，可在真空環(huán)境下對樣品進(jìn)行光學(xué)，電學(xué)測試，測試中也可實(shí)現(xiàn)惰性氣體的快速充放。

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